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随着微电机技术的发展/ 微米纳米测量技术的 出 现/以 及 LIGA即光刻, 电铸, 注塑5 技术和特种超精密 微机械加工等技术手段的发明/ 微电子机械系统 应运 而生- MEMS是在微电子技术基础上发展起来的多 学科交叉的新兴学科-它以微电子及机械加工技术 为依托/ 范围涉及微电子学, 现代光学, 气动力学, 流 体力学, 热学, 声学, 磁学, 自动控制学, 仿真学, 材料 科学, 机械学以及表面物理与化学等多种工程技术 和学科-由于 MEMS器件具有结构上微型化, 集成 化, 尺寸达到纳米数量级/ 功能上多样化, 智能化/ 应 用上能耗低, 灵敏度高, 工作效率等特点/ 因此具有 广阔的发展前景/ 对国民经济和国防工业各个部门 未来的发展产生深远的影响。 |
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